��Ա��¼ - �û�ע�� - ��Ϊ��ҳ - �����ղ� - ��վ��ͼ ���֪ʶ��_һ��ѧϰ���֪ʶ�ĺ���վ��
��ǰλ�ã���ҳ > ���� > ����

�й��뵼����ҵЭ��MEMS�ֻ����۽�δ����չ

ʱ�䣺2019-07-01 18:58 ��Դ��δ֪ ���ߣ�admin �Ķ�����
���գ��й��뵼����ҵЭ��MEMS�ֻ�һ����λ�Ա�������������ݹ��ʲ���������У���о���ʼ��ɵ�·���죨�Ϻ������޹�˾��ѯ�����ܼ�ƺ�Ϊ�����ݽ�����Ϊ��MEMS��ԲƬϵͳ���ɴ����Ļ�Ե����ս�����ݽ��� ��о���ʴ�2008�����MEMS��ҵ�磬�����������Ѿ���ɺ���������һ��MEMS����������ν����ҵ��������ˣ�վ����о���ʵĽǶȣ��ƺӲ�ʿ�͸���̽����MEMS��ҵ����������MEMS������״�����ơ�MEMS��IC�������ա���Բ����װ��ϵͳ����װ����������Լ���о���ʵ�MEMS���������Ρ�

���������MEMS�������ӹ�ҵ������Ӧ�����ȣ������������ֻ��Ϳɴ���װ�����ٵ���������������һ��������δ��MEMS��ҵ������������ʲô���Ʋ�ʿָ�����͹��ġ��ͳɱ����๦Ч��������δ��MEMS��ҵ������ƫ��
����



��о���������ܼ�ƺ��ݽ�

����
����Ϊ��˳Ӧ�г���Ӫ���ƣ�����ȷδ�����г��������غͼ������ģ���ӵIJ���ƫ���ϣ���о��������ʵ��ÿ�¼���ԲƬ�IJ��ܡ�������о���ʵ�MEMS��Բ�ߴ�Ϊ8Ӣ�磬û��һ������г����������ѡ�ι����MEMS������������о���ʲ�����ֻ�����ִ��������Ʋ�ʿ˵���������򼶵�MEMS�г�������о����Ҫ���ģ���

�����ӹ�ҵ�����Ƕȶ��ԣ�����ԲƬ�����Լ�����о���ʻ���ע�������棺��һ���ܷ��װ��Sealed Package�����������ñ/���ף�Cap w/Hole������������ѧ��װ��ñ��Opti Cap�����ƺӲ�ʿ���֣���о���ʽ��г��ϵ�MEMS����ֳ�����������ٴӷ�װ��ϵͳ���ɵĽǶ������������Ľ������������������������������Ҫ��������һ���Ǵ��й�Ч����һ��������ɱ������ķ����˵������������Ч������ͼ��ʾ��

�������CMOS������MEMS�������Ž�Ȼ�����ص㣺1���¹��գ�������ʴ����Բ���ϡ���շ�װ��TSV WLP�ȡ�2�������ϣ���Ͻ����ϡ��������ϡ�ѹ�����ϡ�3������Ҫ�죬CMOS��ƽ�湤�գ���MEMS�������幤�գ���Ҫר�Ų���Ҫ�죻MEMS��Ҫ�����ǻ�еӦ���Ϳɿ������⡣��4����Ӧ���Ӵ󣬰���MEMSоƬ��ASICоƬ����Ƭ����װ�Ͳ��ԣ���ѧ�ͻ�е���ܣ���У׼�ȡ�

�����Ʋ�ʿ����������Ҫһ������ʽ��MEMS�����ߣ����ھ�������Ⱦ��ͳ��CMOS�����ߡ�������������ô���꣬Ҳ�������ij����߸��ˣ���о������MEMS����Ͷ�˺��Ƕ��Ǯ�����������վ��ڡ��򹤡��׶Ρ�����һЩ���������ƿ�����MEMS�����Ǹ�����ȷ��������Ҫ����MEMS����Ͷ�뼸������û����ġ���
����



MEMS��CMOS������������

����
����̸��CMOS��MEMS���������𣬻Ʋ�ʿ������һ��ͼ����ʾ��������һ����������MEMS����������Ҫ���Ĺ��ߣ����кܴ�IJο���ֵ��������CMOS���ɵ�·��������������0.18��0.13΢�׹��գ���������0.11΢�ס����������Ƚ��Ĺ��ʳ��̣��Ѿ�Ҫ�ߵ�55���׺�44���ף�������low power��
����



��ҪMEMS�������Ĺ�����·ͼ

����
�����������̵�Ҫ������������ơ�1���������͹��ġ����ں��������ý�GMR����CMOS�ϣ����ʴ��Ѿ�����8Ӣ��TMR���ߣ�������д����������쳧�̶������˺ܴ�Ĵ������������һ����������Ҫ�Ӵ��Ͷ�ʡ�����TMR����ʵ��1�����£�����0.01-0.05�ȵľ��ȣ����ù��ʴ󳧲�ϧѪ��Ͷ��TMR�����ߡ�

�������Դ���������8��ԲƬ����3����Դ������Ѿ��ռ������ʴ��Ѿ����Ƚ���8��������Ƭ����6����ϴ�������δ��������12��3�ᡢ12��6�ᡣ�ӹ�ҵ�����ĽǶȶ��ԣ��ⶼ���п��ܷ����ġ�

����RF MEMSδ��������ƫ���Ǹ��ߵ�Ƶ�ʡ����͵ijɱ���BAW��SAW�˲��������6�磬δ������8��Ϊ����MEMS��˷�δ����ӵ�и��ߵ�����ȡ���жȡ���С�ijߴ硣ѹ��������ǿ����ݶȺ͸�С�ijߴ磬δ�����ܷ���8Ӣ���12Ӣ��ĵ㡣����/��ѧ��������һ���ۺϹ۵㣬����Ҫ��ܸߣ���Ҫ�͹��ġ�Ҳ��һ�������ڣ�����ֱ����CMOS����MEMS���������������ֻ��ϡ�����ǹ���䴫���������޺���̽������������Ҫ��С����õ͹��ġ�����ݶȡ��������ഫ�����������ڿɴ���װ������������

����������ͼ����Կ������й���MEMS����ʴ�֮��IJ�࣬ҲΪ����ָ����δ���Ļ�Ե�����ǿ�������ЩҪ��Ӧ������ε�ͷ������й�MEMS�ؽ�����

����������MEMS������״���Ʋ�ʿΪ����չʾ�˴�������ְλ��MEMS��Բ�����ṩ��������3D IC��3D��Բ����װ������һ�׶���Ҫ�ṩCMOSͼ�񴫸�����MEMS����������ͨ�׾�Բ����װ���ֽ׶Σ���MEMS���̹�Ӧ�����߰����״̬�£������ı����־����أ��Ʋ�ʿָ����MEMS��CMOS��Ӧ����ҪЭͬ������оƬ�����Ժͷ�װ��װ����Ӧ�̡����Ϲ�Ӧ�̡���ҵ��֮֯�䶼�����γɻ��������й���MEMS������������ʿ��⣬��������MEMS��ҵ����Ҫ����Ҳ�Ǹ��˵����������Ŀ�����ڡ�

������о����������δ���������������¸��صĿͻ����Ʋ�ʿ�������ĸ��յס�

����1�����ﶨ�ƣ�Product Customization�����ͻ�����ʹ����о���ʵ�ƽ̨����MEMS����ģ�����̡���о�������Լ���֪ʶ��Ȩ�ڻ���������о�����ֳɵ�Ҫ����

����2������������Sustained Development����������ʴ�2008�������Ѿ��߹���8�꣬�����һ������������רҵ���Ŷӡ������к�õ�Ͷ�룬8������̣����Ʒѵ�������ʱ�䡢�������֤ʵ����о���ʼᶨ������MEMS������·�ϵĿ��⡣

����3�����̹�Ӧ����Shortened Supply Chain������о����ӵ��ר��װ������������뵼���װ���� (OSAT)�������������̹�Ӧ������ֹ��רҵ����������·��

����4����ǿ���ն�ϵͳ֮���Э�飨Strengthened Bonds With End System Houses����ͨ���෽��Ļ����������MEMS�������������̡�
����



��о�����������ʿͻ��ļ�ı

����
������󣬻Ʋ�ʿ�ܽ����δ��Ӧ�ý��������ܸ�֪ϵͳ��ƫ���������ù۵������δ�����ʴ������󳧵�����ͷ�ԡ����ܸ�֪ϵͳ�������Ǵ��������������������ݴ��óͷ�������������ɻ��Ľ�����������˻�Ե����ս����MEMS�������ԣ���о�����ṩ��Խ�߾��ȡ������������߲��������ɻ��Ľ��������������δ���������ͳɱ�����о����ӵ���Ӵ��DZ����̽����Բ�����ܸ�֪ϵͳ���ɵĽ�����������ڣ�һ���������MEMS����о���ʵIJ�ֵ�Ѿ�Ծ�ӵ�һ������о�����ֲ�������һ��CMOS�����������ǵ�8Ӣ��MEMS����Ҳ���ص�֮һ��δ������о���ʽ���CMOS����Ϊ����������Բ�����ɻ���������ṩ����������һ���ͺ�����ͻ�������ʵ��˫Ӯ��
�й��뵼����ҵЭ��MEMS�ֻ����۽�δ����չ

(���α༭��admin)

��һ��
(0)
0%
��һ��
(0)
0%